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 真空爐是真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×（10-2~10-4）h.爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲（如鎢絲）通電加熱，也可用高頻感應(yīng)加熱。高溫度可達(dá)3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。
　　原理
　　真空爐是利用熱媒水的相變進(jìn)行熱交換的，燃料燃燒釋放出的熱量被熱媒水吸收，當(dāng)溫度上升至某真空狀態(tài)下的飽和溫度時(shí)，蒸發(fā)成飽和和蒸汽，完成第 一次相變過(guò)程。凝結(jié)水流進(jìn)蒸發(fā)室繼續(xù)吸熱，完成相變循環(huán)。真空熱水鍋爐的下部結(jié)構(gòu)由燃燒室和傳熱管束組成；上部為真空室，其中插入了U型管熱交換器；真空室外接抽氣單元，使真空室保持**的真空度，并將真空室內(nèi)不凝結(jié)氣體抽出，提高U型熱交換器的換熱效率。
　　分類：
　　真空爐按照設(shè)備應(yīng)用可分為真空淬火爐、真空釬焊爐 、真空退火爐、真空加磁爐、真空回火爐、真空燒結(jié)爐、真空擴(kuò)散焊爐、真空滲碳爐等。
　　按加熱方式分為真空電阻爐、真空感應(yīng)爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐（又稱電子轟擊爐）和等離子爐等。
　　功能
　　1）真空淬火（回火、退火）就是通過(guò)把材料或零件在真空狀態(tài)下按工藝規(guī)程加熱、冷卻來(lái)達(dá)到預(yù)期性能的一種處理方法。
　　2）真空燒結(jié)爐在真空狀態(tài)下，把金屬粉末制品加熱，使相鄰金屬粉末晶粒通過(guò)粘著和擴(kuò)散作用而燒結(jié)成零件的一種方法。
　　3）真空氣氛爐又名無(wú)氧退火爐，真空氣氛爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體（如氬）等各種氣氛。不同的材料選擇適宜的氣氛燒結(jié)，有助于燒結(jié)過(guò)程，提高制品致密化程度、獲得良好的性能的制品。
　　4）真空釬焊爐在真空狀態(tài)下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點(diǎn)溫度以上，但低于基體金屬熔點(diǎn)溫度，借助于填充金屬對(duì)基體金屬的濕潤(rùn)和流動(dòng)形成焊縫的一種焊接工藝（釬焊溫度因材料不同而異）。
　　優(yōu)點(diǎn)
　　1）完全消除了加熱過(guò)程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無(wú)變質(zhì)層的清潔表面。這對(duì)于那些在刃磨時(shí)僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關(guān)系。
　　2）對(duì)環(huán)境沒(méi)有污染，不需進(jìn)行三廢處理。
　　3）爐溫測(cè)定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達(dá)到±1.5°c.但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強(qiáng)制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內(nèi)。
　　4）機(jī)電一體化程度高。在溫度測(cè)控精度提高的基礎(chǔ)上，工件移動(dòng)、氣壓調(diào)節(jié)、功率調(diào)節(jié)等均可預(yù)先編程設(shè)定，按步驟實(shí)施淬火和回火。
　　5）能耗顯著低于鹽浴爐?，F(xiàn)代先進(jìn)的真空爐加熱室采用優(yōu)質(zhì)隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內(nèi)，節(jié)能效果顯著。
　　真空爐一般由主機(jī)、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運(yùn)輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。